よくあるご質問

用語に関する質問 > ロボット

Q:クリーン度、クラス10 (0.1µm)の意味を教えてください。
A:1cf(立方フィート[1フィート=305mm])に含まれる塵の数と塵のサイズ区分を併記して表しています。
よって、1cf中に0.1µm以上の粒子が10個以下であることを意味します。